๐Gradiometric Magnetic FS ๋ฆฌ๋ทฐ
- ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ํ ์ผ์๋ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ ๊ฐ์ญ์ ์ทจ์ฝํ์ฌ ์ธก์ ์ ํ๋๊ฐ ๋จ์ด์ง๋๋ค.
- ๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์ ๋ค์ค ํฝ์ ์ ์ด์ฉํด ์๊ธฐ์ฅ ๊ตฌ๋ฐฐ๋ฅผ ์ธก์ ํจ์ผ๋ก์จ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ์ ๋ฉด์ญ์ธ ์๋ก์ด ์ผ์ ๋์์ธ์ ์ ์ํฉ๋๋ค.
- ์ด ์ผ์๋ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ ์ํฅ ์์ด ์ฐ์ํ ํ ๋ถํด๋ฅ๊ณผ ์จ๋ ๋ณด์ ๊ธฐ๋ฅ์ ์ ์งํ๋ฉฐ, ๋ก๋ด ์ ์ ์ฉ ์ ๊ฐ๊ฑดํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์ฆํ์ต๋๋ค.
1 Brief Review
๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์ ๋ก๋ด ์๊ณผ ๊ทธ๋ฆฌํผ๋ฅผ ์ํ ๋ฏธ์ธ ์์ฅ(stray magnetic fields) ๊ฐ์ญ์ ๊ฐํ ์๊ธฐ๋ ฅ ์ผ์(Gradiometric Magnetic Force Sensor Immune to Stray Magnetic Fields)๋ฅผ ์ ์ํฉ๋๋ค. ๊ธฐ์กด์ ์๊ธฐ๋ ฅ ์ผ์๋ ์๋ผ์คํ ๋จธ์ ๋ด์ฅ๋ ์์์ ๋ณ์๋ฅผ ๋จ์ผ ์๊ธฐ ํฝ์ (magnetometer)๋ก ์ธก์ ํ์ฌ 3D ํ์ ๊ฐ์งํ๋ ๋ฐฉ์์ด์์ต๋๋ค. ์ด ๋ฐฉ์์ ๋ฏธ์ธ ์์ฅ์ ๋งค์ฐ ์ทจ์ฝํ์ฌ, ์ง๊ตฌ ์๊ธฐ์ฅ, ๋ชจํฐ ๋๋ ๊ทผ์ฒ ์์์ผ๋ก ์ธํ ์๊ธฐ์ฅ์ด ์ธก์ ๊ฐ์ ์ง์ ์ ์ ๋์ด ํ ์ธก์ ์ ํ๋๋ฅผ ์ ํดํ๋ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์์ต๋๋ค.
์ ์๋ ์ผ์๋ ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํด โgradiometricโ ๊ฐ๋ ์ ๋์ ํฉ๋๋ค. ๋จ์ผ ์นฉ ํจํค์ง ๋ด์ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ ์๊ธฐ ํฝ์ ์ ํตํฉํ์ฌ, ์ ๋ ์๊ธฐ์ฅ ๊ฐ์ด ์๋ ํฝ์ ๊ฐ์ ์๊ธฐ์ฅ ์ฐจ์ด, ์ฆ ์๊ธฐ์ฅ์ gradient๋ฅผ ์ธก์ ํฉ๋๋ค. ํ๋กํ ํ์ ์ repurposed MLX90372 ์นฉ์ ์ฌ์ฉํ์ผ๋ฉฐ, ์ด ์นฉ์ ํ๋์ ํจํค์ง์ 4๊ฐ์ ์๊ธฐ ํฝ์ (๊ฐ ํฝ์ ์ B_x, B_z ์ธก์ )์ ํฌํจํฉ๋๋ค. ์ด ํฝ์ ๋ค์ ์ฝ 2 mm ๊ฐ๊ฒฉ์ผ๋ก ๋ฐฐ์น๋์ด ๋ฐ๋ฆฌ๋ฏธํฐ ์ค์ผ์ผ์์ ์๊ธฐ์ฅ gradient๋ฅผ ์ธก์ ํฉ๋๋ค. ์ผ์๋ ์ํํธ ์๋ผ์คํ ๋จธ(Dragon Skin 20)์ ๊ทธ ์์ ๋ด์ฅ๋ ์ํตํ ์์์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ์ธ๋ถ ํ์ ์ํด ์๋ผ์คํ ๋จธ๊ฐ ๋ณํ๋๋ฉด ์์์ด ์์ง์ฌ ์๊ธฐ์ฅ ํจํด์ด ๋ณํํ๊ณ , ์ด ๋ณํ๊ฐ ๋ค์ค ํฝ์ ์ ์ํด ๊ฐ์ง๋ฉ๋๋ค.
์ผ์์ ์ ํธ ์ฒ๋ฆฌ ๊ณผ์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- Sensitivity Correction: ์จ์นฉ ์จ๋ ์ผ์(T_{sensor}) ์ธก์ ๊ฐ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํ ํจ๊ณผ์ ๋ฏผ๊ฐ๋ ๋ณํ ๋ฐ ์๋ผ์คํ ๋จธ์ ์ดํฝ์ฐฝ/๊ฐ์ฑ ๋ณํ๋ฅผ ๋ณด์ ํฉ๋๋ค. ๋ณด์ ๋ ์๊ธฐ์ฅ(B_{corr})์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค: B_{corr} = B_{raw}(1 + \alpha\Delta T) + \beta\Delta T ์ฌ๊ธฐ์ \Delta T = T_{chip} - 35^\circ\text{C}์ด๋ฉฐ, \alpha, \beta๋ ์๋ผ์คํ ๋จธ ํน์ฑ ๋ณํ๋ฅผ ๋ณด์ํ๋ ์์์ ๋๋ค.
- Mean Removal: 4๊ฐ ํฝ์ ์์ ์ธก์ ๋ B_x ์ฑ๋ถ๋ค์ ํ๊ท B_{mean,x}์ B_z ์ฑ๋ถ๋ค์ ํ๊ท B_{mean,z}๋ฅผ ๊ณ์ฐํ์ฌ ๊ฐ ํฝ์ ์ B_x, B_z ์ธก์ ๊ฐ์์ ๋นผ์ค๋๋ค. ์ด๋ ๊ท ์ผํ ๋ฏธ์ธ ์์ฅ ์ฑ๋ถ์ ์ ๊ฑฐํ๊ณ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ฐจ์ด(\Delta B_x/\Delta x, \Delta B_z/\Delta x ๋ฑ gradients์ ์ ํ ์ฐจ๋ถ ๊ทผ์ฌ)๋ง ๋จ๊น๋๋ค.
- Feature Augmentation: ๊ฐ ํฝ์ ์ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฒกํฐ ํฌ๊ธฐ B_{norm,i} = \sqrt{B_{x,i}^2 + B_{z,i}^2}๋ฅผ ๊ณ์ฐํ์ฌ ์๋ก์ด ํน์ง์ผ๋ก ์ถ๊ฐํฉ๋๋ค. ์ด ๋จ๊ณ ํ ์ด 12๊ฐ์ ํน์ง ๋ฒกํฐ๊ฐ ์์ฑ๋ฉ๋๋ค.
- Polynomial Augmentation: 12๊ฐ์ ํน์ง ๋ฒกํฐ์ ๋ชจ๋ 2์ฐจ ๋คํญ์ ์กฐํฉ(์ํธํญ ํฌํจ)๊ณผ ๋ฐ์ด์ด์ค ํญ(1)์ ์์ฑํ์ฌ ์ด 91๊ฐ์ ํน์ง ๋ฒกํฐ๋ฅผ ์ป์ต๋๋ค.
- Inference: 91์ฐจ์ ํน์ง ๋ฒกํฐ์ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ ํตํด ์ป์ 91x5 ํฌ๊ธฐ์ ๊ฐ์ค์น ํ๋ ฌ(M_{weights})์ ๊ณฑํ์ฌ 3D ํ(F_x, F_y, F_z) ๋ฐ 2D ํ ํฌ(T_x, T_y)๋ฅผ ์ถ๋ ฅํฉ๋๋ค.
์ผ์ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ ATI nano17 ๋ ํผ๋ฐ์ค ๋ก๋์ ๊ณผ 3์ถ ์ด๋ ํ๋ซํผ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ํ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด 13,000๊ฐ์ ๋ฐ์ดํฐ์ ์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ๋คํญ์ ๋ชจ๋ธ ๊ฐ์ค์น ํ๋ ฌ์ ํ์ตํ์ต๋๋ค. ํ์ต ๊ฒฐ๊ณผ๋ F_z (0.996), F_x (0.966), F_y (0.949)์ ๋์ ๊ฒฐ์ ๊ณ์(Rยฒ)๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ฃผ์์ต๋๋ค.
ํต์ฌ ์คํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- ๋ฏธ์ธ ์์ฅ ๋ด์ฑ (Stray-Field Immunity): ยฑ2 mT์ ๊ท ์ผ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ ํ์์ ํ ์คํธ ๊ฒฐ๊ณผ, ๋ฏธ์ธ ์์ฅ ์ค์ฐจ๋ ์ ์ฒด ์ค์ผ์ผ(2 N)์ 0.3% ์ด๋ด๋ก ์ ํ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ํฝ์ ๋ฐฉ์(์๋ฎฌ๋ ์ด์ ๊ฒฐ๊ณผ ์ฝ 20% ์ค์ฐจ) ๋๋น ์ฝ ๋ ์๋ฆฟ์ ํฅ์๋ ์ฑ๋ฅ์ ๋๋ค.
- ํ ๋ถํด๋ฅ (Force Resolution): ๋ฌด๋ถํ ์ํ์์ 2.7 mN์ RMS ํ ๋ถํด๋ฅ์ ๋ฌ์ฑํ์ต๋๋ค. ์ด๋ ๋ก๋ด ์ด๊ฐ ์ผ์ ์๊ตฌ ์ฌ์(10 mN)์ ๋ง์กฑํ๋ ์์ค์ด๋ฉฐ, ๋ฏธ์ธ ์์ฅ ๋ด์ฑ์ ์ ๊ณตํจ์๋ ๊ธฐ์กด ์ผ์์ ๊ฒฝ์์ ์ธ ์ฑ๋ฅ์ ๋๋ค.
- ์ด ๋๋ฆฌํํธ ๋ณด์ (Thermal Drift Compensation): 0โ50ยฐC ๋ฒ์์์ ์จ์นฉ ์จ๋ ์ผ์๋ฅผ ํ์ฉํ ๋ณด์ ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ด ์๋ผ์คํ ๋จธ ํน์ฑ ๋ณํ๋ก ์ธํ ํ ์ธก์ ๊ฐ์ ๋๋ฆฌํํธ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๋ณด์ํจ์ ์ ์ฆํ์ต๋๋ค.
- ๋ก๋ด ํธ๋ ํตํฉ (Robotic Hand Integration): qb SoftHand ๋ก๋ด์ ์ผ์๋ฅผ ํตํฉํ์ฌ ๊ทผ์ฒ์ ๊ฐํ ์์(๋ฏธ์ธ ์์ฅ ์ฝ 3 mT) ์กด์ฌ ํ์์๋ ํ์ ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ก๋ ํ ์ ์ด๋ฅผ ์์ฐํ์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ํฝ์ ๋ฐฉ์์ ๋ฏธ์ธ ์์ฅ์ ์ํด ์ ์ด๊ฐ ์คํจํ์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก ๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์ ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ๋ ฅ ์ผ์์ ์ฅ์ (3D ํ ๊ฐ์ง, ๋ถ๋๋ฌ์, ์ํ, ๋น์ฉ ํจ์จ์ฑ)์ ์ ์งํ๋ฉด์, ๋ค์ค ํฝ์ gradiometric ๊ฐ๋ ์ ํตํด ์ค์ธ๊ณ ํ๊ฒฝ์์ ์น๋ช ์ ์ธ ์ฝ์ ์ด์๋ ๋ฏธ์ธ ์์ฅ ๊ฐ์ญ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ํด๊ฒฐํ์ฌ ๋ก๋ด ํ ๊ฐ์ง์ ๊ฐ๊ฑด์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์์ผฐ์ต๋๋ค.
2 Detail Review
๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์ ์ฌ์ธต ๋ฆฌ๋ทฐ: ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ๋ฉด์ญ์ธ ๋ก๋ด ์/๊ทธ๋ฆฌํผ์ฉ ์ด๊ฐ ์ผ์
2.1 ์๋ก
๋ก๋ด์ด ์ธ๊ฐ ์์ค์ ์ฌ์ธํจ์ผ๋ก ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ ค๋ฉด ์ด๊ฐ ์ผ์๋ฅผ ํตํ ์ ๋ฐํ ํ ์ ์ด๊ฐ ํ์์ ์ ๋๋ค. ์๊ฐ ์ผ์ฑ๋ง์ผ๋ก๋ ํ๊ณ๊ฐ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์ ์ด ์ง์ ์์์ ์์ง(normal) ๋ฐ ์ํ ๋ฐฉํฅ(tangential) ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ป์ด ๋ฏธ๋๋ผ ๊ฐ์ง์ ์ ๋ฐ ํ ์ ์ด๋ฅผ ์ํํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๋ก๋ด์ ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ๋ฌผ์ฒด๋ ์์ ํ๊ฒ ์ก๊ฑฐ๋, ๋ฏธ์ง ๋ฌผ์ฒด์ ๋ฌด๊ฒ๋ฅผ ์ถ์ ํ๊ณ , ์ฌ๋๊ณผ์ ์์ ํ ์ํธ์์ฉ๋ ๊ฐ๋ฅํด์ง๋๋ค. ์ธ๊ฐ ์ด๊ฐ์ ์ฑ๋ฅ์ ๊ณ ๋ คํ ๋ก๋ด์ฉ ์ด๊ฐ ์ผ์์ ๋ชฉํ ์ฌ์์ผ๋ก๋, ์ฝ 10 mN(1 ๊ทธ๋จ ์ ๋ ๋ฌด๊ฒ) ์์ค์ ํ ๋ถํด๋ฅ, 5 mm ๊ฐ๊ฒฉ์ ๊ณต๊ฐ ํด์๋, 3์ถ(force 3D ๋ฒกํฐ) ์ธก์ , 1000:1์ ๋ค์ด๋๋ฏน ๋ ์ธ์ง, 1 ms ์๋ต์๋ ๋ฑ์ด ์ ์๋์ด ์์ต๋๋ค. ๋ํ ์ผ์ ํ๋ฉด์ ํผ๋ถ์ฒ๋ผ ๋ถ๋๋ฌ์์ผ ํ๋ฉฐ ์ ์ด๋ฉด์ ์ ๋ํ๊ธฐ ์ํด ์ผ์ ์์ค์ ์ ์ฐ์ฑ(compliance)์ ๊ฐ์ ธ์ผ ํฉ๋๋ค. ๊ด์ ์ ์ฅ์ฐฉ๋๋ ๊ฒฝ์ฑ 6์ถ ํ-ํ ํฌ ์ผ์์ ๋ฌ๋ฆฌ, ์๊ฐ๋ฝ ๋ ํผ๋ถ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฐ ๋ฐฐ์น๋ ๋ถ๋๋ฌ์ด ์ด๊ฐ ์ผ์ ๊ธฐ์ ์ด ์๊ตฌ๋ฉ๋๋ค.
ํ์ฌ๊น์ง ๋ค์ํ ์ด๊ฐ ์ผ์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์ฐ๊ตฌ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์ ์ฒด(microfluid) ์๋ ฅ ๋๋ ์ ํญ ๋ณํ๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ผ์๋ค์ ์๊ฐ๋ฝ ์ ์ฒด๋ฅผ ๋๋ฌ์ผ ๋ถ์ฐํ ์ด๊ฐ ํผ๋ถ๋ฅผ ๊ตฌํํ ์ ์์ง๋ง, ๊ตญ์์ ์ธ 3์ถ ํ์ ์ง์ ์ธก์ ํ์ง๋ ๋ชปํฉ๋๋ค. ์นด๋ฉ๋ผ ๊ธฐ๋ฐ์ ๊ดํ ์ด๊ฐ ์ผ์(์: GelSight, NeuroTac)๋ ๋์ ํด์๋๋ก ์ ์ด๋ฉด ๋ณํ์ ์ธก์ ํ์ฌ ๋ฌผ์ฒด์ ํจํด์ด๋ ์ง๊ฐ์ ์ธ์ํ ์ ์์ผ๋, ๋ถํผ๊ฐ ํฌ๊ณ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ๋์ด ๋ง์ผ๋ฉฐ ์ ๋ ฅ ์๋ชจ๋ ์๋นํฉ๋๋ค. ํฌํ ๋ค์ด์ค๋ 4๋ถํ ๊ฒ์ถ๊ธฐ๋ฅผ ์ด์ฉํ ์์ ์ผ์(๊ตฌ OptoForce ๋ฑ)๋ ์นด๋ฉ๋ผ๋ณด๋ค ๊ฒฝ๋ํํ์ผ๋ ์ฌ์ ํ ์๋ฐฑ mW ์ด์์ ์ ๋ ฅ์ ์๋ชจํ๋ฉฐ, ํ์ฌ๋ ๋จํ ํ๋งค๊ฐ ์ค๋จ๋์์ต๋๋ค. ์๊ธฐ ์ผ์ ๊ธฐ๋ฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ ์ด๋ฌํ ๋์์ผ๋ก ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ์ ์์ต๋๋ค. ์๊ธฐ์ฅ ๋ฐฉ์์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์์ 3์ถ ์๊ธฐ ์ผ์ ์นฉ๊ณผ ์์, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํ์ฑ์ฒด(elastomer)๋ก ๊ตฌ์ฑ๋๋ฉฐ, ํ์ด ๊ฐํด์ง๋ฉด ์์์ด ๋ฏธ์ธ ๋ณ์ํ์ฌ ์ฃผ๋ณ ์๊ธฐ์ฅ์ด ๋ณํ๊ณ ์ด๋ฅผ ์ธก์ ํด 3์ถ ํ์ ๊ณ์ฐํฉ๋๋ค. ์ด ๋ฐฉ์์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋จ์ํ๊ณ ๋น์ฉ ํจ์จ์ ์ด๋ฉฐ, ํ ๊ฐ์ ์นฉ๋ง์ผ๋ก๋ 3์ถ ํ์ ๊ฐ์งํ๋ ์ปดํฉํธํ ํจํค์ง๋ฅผ ๊ตฌํํ ์ ์์ด ๋ค์์ ์ด๊ฐ ํฝ์ (taxel) ๋ฐฐ์ด์ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ์ค์ ๋ก ์ ํ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์ ๋จ์ผ ์ผ์์ ํ ๋ถํด๋ฅ์ด ์ mN ์์ค(์์ง 1.42 mN, ์ ๋จ 0.71 mN)์ ๋๋ฌํ์๊ณ , ์ด๋ฅผ 2ร2 ๋ฐฐ์ด๋ก ํ์ฅํ ์ฌ๋ก๋ 4ร4, ์ต๋ 24๊ฐ์ ์ผ์๋ฅผ ์๋์ ๋ถ์ฐ ๋ฐฐ์นํ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ํผ๋ถ ๊ตฌํ๊น์ง ๋ณด๊ณ ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ 3์ฐจ์ ํ ๋ฒกํฐ๋ฅผ ๋์ ๊ฐ๋๋ก ์ธก์ ํ๊ณ ์ํํ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ๋ฉฐ, ํ๋ฉด์ ๋ถ๋๋ฌ์ด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ฑ์ ํ์ฑ ์ฌ์ง๋ก ๋ง๋ค์ด ์ธ์ฒด ํผ๋ถ์ ์ ์ฌํ ์ด๊ฐ์ ๊ฐ์ง๊ฒ ํ ์ ์๋ค๋ ์ฅ์ ์ด ์์ต๋๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋ ๊ธฐ์กด์ ๋จ์ผ ์๊ธฐ ์ผ์ ๊ธฐ๋ฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ ์น๋ช ์ ์ธ ์ฝ์ ์ด ์์๋๋ฐ, ๋ฐ๋ก ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ ๊ต๋(stray magnetic field)์ ๋งค์ฐ ๋ฏผ๊ฐํ๋ค๋ ์ ์ ๋๋ค. ์ผ์๊ฐ ์ธก์ ํ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ์๋ ํ์ฑ์ฒด ๋ด๋ถ ์์์ ์์น ๋ณํ๋ก ์ธํ ๊ฒ์ด์ง๋ง, ์ฃผ๋ณ์ ์กด์ฌํ๋ ๋ค๋ฅธ ์์์ด๋ ์ ๋ฅ์ ์ํ ์๊ธฐ์ฅ์ด ์์ผ๋ฉด ์ผ์๋ ์ด๋ฅผ ๊ตฌ๋ถํ์ง ๋ชปํ๊ณ ํฉ์ณ์ ์ธก์ ํด๋ฒ๋ฆฝ๋๋ค. ์์ปจ๋ ์ง๊ตฌ ์๊ธฐ์ฅ(์ฝ 50 ฮผT)์ด๋ ๋ก๋ด ๊ตฌ๋ ๋ชจํฐ, ๊ฐ๊น์ด ์์์์ ๋ฐ์ํ๋ ํ๋๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ์ ๊ทธ๋๋ก ๋ํด์ ธ, ์ค์ ์ ์ด๋ ฅ๊ณผ ๋ฌด๊ดํ ์ค์ฐจ๋ฅผ ๋ฐ์์ํต๋๋ค. ์คํ์ค์ด ์๋ ์ค์ ํ๊ฒฝ์ ๋ก๋ด์๋ ์ด๋ฐ ์์ ๊ต๋์ด ํํ๋ฏ๋ก, ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ฅผ ๋ก๋ด์ ํ์ฌํ ๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ขฐ์ฑ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์ ๊ธฐ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ผ๋ถ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ฝ์ผ์ ์ด์ฉํ ์ ๋์ ๋ณด์ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฑ์ผ๋ก ์ ์ฃผํ ์ธ๋์ ์ค์ด๋ ค ํ์ผ๋, ์ผ์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ 1 cm ์ด์ ์ปค์ง๊ณ ์ฃผ๋ณ ๊ธ์์๋ ๋ฏผ๊ฐํ ๋จ์ ์ด ์์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฐฐ๊ฒฝ์์, 2022๋ RA-Letter ๋ ผ๋ฌธ โA Gradiometric Magnetic Force Sensor Immune to Stray Magnetic Fields for Robotic Hands and Grippersโ๋ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ํฅ์ ๋ฐ์ง ์๋ ์๋ก์ด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์ ์ค๊ณ๋ฅผ ์ ์ํ์์ต๋๋ค. ์ด ์ผ์๋ ๋ค์ค ํฝ์ ์๊ธฐ ์ผ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํตํด ์๊ธฐ์ฅ์ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ(gradient)๋ฅผ ์ธก์ ํจ์ผ๋ก์จ ๊ท ์ผํ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ ์ ํธ๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฌ์ฉํฉ๋๋ค. ์ดํ์์๋ ํด๋น ๋ ผ๋ฌธ์ ๊ธฐ์ ์ ๋ด์ฉ๊ณผ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ์ฌ์ธต ๋ถ์ํ๊ณ , ๊ธฐ์กด ๊ธฐ์ ๊ณผ์ ๋น๊ต, ํ๊ณ์ ๋ฐ ํฅํ ๋ฐ์ ๋ฐฉํฅ์ ๋ ผ์ํฉ๋๋ค.
2.2 ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ์
๊ทธ๋ฆผ 1. ๋จ์ผ ํฝ์ ๊ธฐ๋ฐ ์๊ธฐ ํ ์ผ์(์)์ ๋ค์ค ํฝ์ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์(์๋) ๊ฐ๋ ๋ ๋น๊ต. ๊ธฐ์กด ๋ฐฉ์์ ํ๋์ 3์ถ ์๊ธฐ ์ผ์๋ก ์์ ๋ณ์๋ฅผ ์ธก์ ํ๋ฏ๋ก ์ธ๋ถ ๊ท ์ผ ์๊ธฐ์ฅ B_{\text{stray}}์ ์ทจ์ฝํ์ฌ ํ ์ถ๋ ฅ์ด ๊ต๋๋๋ค(์ผ์ชฝ). ๋ฐ๋ฉด ์๋ก์ด ๋ค์ค ํฝ์ ์ผ์๋ ๋์ผํ ํจํค์ง ๋ด 4๊ฐ์ ์๊ธฐ ์ผ์ ํฝ์ ์ ๋ฐฐ์นํ๊ณ , ๋ด๋ถ์ ์ผ๋ก ์ฐจ๋ ์ธก์ (differential measurement)**์ ์ํํ์ฌ ๊ท ์ผํ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ์์ํ๋ค(์ค๋ฅธ์ชฝ).*
๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์(GMFS)๋ ํ๋์ ์ผ์ ๋ชจ๋ ์์ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ ๋ฏธ์ ์๊ธฐ ์ผ์ ํฝ์ ์ ๊ฐ๊น์ด ๋ฐฐ์นํ์ฌ, ์ถ๋ ฅ ์ ํธ ๊ฐ ์ฐจ๋ถ(differential)์ ์ทจํ๋ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋์ํฉ๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ Melexis ์ฌ์ Triaxisยฎ ๊ธฐ๋ฐ MLX90372 ์นฉ์ ํ์ฉํ๋๋ฐ, ์ด ์นฉ์ 5 mm ร 4.3 mm ร 0.9 mm ํฌ๊ธฐ์ ์์ ํจํค์ง ์์ 2๊ฐ์ CMOS ๋ค์ด(die)๋ฅผ ๋ด๊ณ ์๊ณ , ๋ค์ด๋ง๋ค 2๊ฐ์ ์๊ธฐ ํฝ์ ์ด ๋ฐฐ์ด๋์ด ์์ด ์ด 4๊ฐ์ ํฝ์ ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ํฝ์ ๊ฐ ๊ฑฐ๋ฆฌ๋ ์ฝ 2 mm์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ, ์ค์ง์ ์ผ๋ก ์ mm ๊ณต๊ฐ ํฌ๊ธฐ์์์ ์๊ธฐ์ฅ ๊ตฌ๋ฐฐ(gradient)๋ฅผ ์ธก์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ฐ ํฝ์ ์ 2์ถ์ ์๊ธฐ์ฅ ์ฑ๋ถ(์นฉ ํ๋ฉด์ ์์ง์ธ B_z ์ถ ์ฑ๋ถ๊ณผ ํ ๋ฐฉํฅ์ ์ํ ์ฑ๋ถ B_x)์ ์ธก์ ํฉ๋๋ค. (โป MLX90372 ์นฉ์ ๋ ๋ฒ์งธ ์ํ ์ถ B_y๋ ์ถ๋ ฅํ์ง ์์ง๋ง, ์ด๋ ์ค๊ณ์ ํฐ ๋ฌธ์ ๋ ์์์ต๋๋ค.) ์ด๋ฌํ ๋ฉํฐํฝ์ ์๊ธฐ ์ผ์ IC ์๋ฅผ ๋ถ๋๋ฌ์ด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณ์ด ํ์ฑ์ฒด(๋ ผ๋ฌธ์์๋ Smooth-On์ฌ์ Dragon Skin 20)๋ฅผ ๋ฎ๊ณ ๊ทธ ๋ด๋ถ์ ์ํ ์ํ ์์(๋ค์ค๋๋ฎด ์์, ์ถ ๋ฐฉํฅ ์๊ธฐํ)์ ๋งค๋ฆฝํฉ๋๋ค. ์ด ๊ตฌ์กฐ๋ ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์์ ์ ์ฌํ๋, ํ ํจํค์ง ์์ ๋ณต์์ ์ผ์ ํฝ์ ์ด ์๋ค๋ ์ ์ด ๋ค๋ฆ ๋๋ค. ์ธ๋ถ์์ ํ์ฑ์ฒด ํ๋ฉด์ ํ์ด ๊ฐํด์ง๋ฉด, ์์์ด ๋ฏธ์ธํ๊ฒ ์์ง์ด๋ฉด์ ์ฃผ๋ณ ์๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ๊ฐ ๋ณํฉ๋๋ค. ์ด ๋ณํ๋ฅผ ๋ฐ๋ก ์๋ ๋ฐฐ์น๋ 4๊ฐ์ ํฝ์ ์ด ๊ฐ๊ธฐ ๋ค๋ฅธ ์์น์์ ๊ฐ์งํ์ฌ, ์์๊ณผ ํฝ์ ๋ค ๊ฐ ์์น ๊ด๊ณ ๋ณํ๋ฅผ ์ฝ์ด๋ด๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
์์์ ๋ณ์๊ฐ ์์ง ๋ฐฉํฅ์ผ ๋๋ ๋ชจ๋ ํฝ์ ์์ ์์ฅ ์ธ๊ธฐ๊ฐ ๊ฑฐ์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๊ฑฐ๋ ๊ฐ์ํ์ง๋ง, ์๋ก ์ธ์ ํ ํฝ์ ์ ์ถ๋ ฅ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด๋ฉด ํนํ B_x ์ฑ๋ถ์ ๊ณต๊ฐ ๊ตฌ๋ฐฐ(โB_x/โx)๊ฐ ๋๋ ทํ๊ฒ ๋ํ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋๋ก ์์์ด ์ธก๋ฉด ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ด๋(์ ๋จ ํ ์์ฉ)ํ๋ฉด ํฝ์ ๋ง๋ค ์์๊ณผ์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ ๋ฌ๋ผ์ ธ์ B_z ์ฑ๋ถ ๋ถํฌ์ ์ฐจ๋ฑ์ด ์๊ธฐ๊ณ , ์ฃผ๋ก โB_z/โx ์ฑ๋ถ์ด ๋ณํํฉ๋๋ค. ๋ค์ ๋งํด, 4๊ฐ์ ํฝ์ ์ด ์์น๋ณ ์๊ธฐ์ฅ ๋ณํ๋ฅผ ๋์์ ์ธก์ ํจ์ผ๋ก์จ ์์์ 3์ฐจ์ ์ด๋์ ์ถ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 1์ ๊ฐ๋ ๋์์ ๋ณด์ด๋ฏ, ์ด๋ฌํ ๊ณต๊ฐ ๊ตฌ๋ฐฐ ์ ํธ๋ ๊ณต๊ฐ ์ ์ฒด์ ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ๋ฏธ์น๋ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ๋ํด์๋ ๋ชจ๋ ๋์ผํ๊ฒ ๋ํ๋๋ฏ๋ก, ํฝ์ ๊ฐ ํ๊ท ๊ฐ์ ๋นผ์ฃผ๋ฉด ์์๋ฉ๋๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ผ์๋ ์์์ ์์น ๋ณํ๋ก ์ธํ ๊ตญ์์ ์ธ ์๊ธฐ์ฅ ๋ถ๊ท ์ผ ์ ํธ๋ง ์ถ์ถํ๊ฒ ๋์ด, ์ธ๋ถ์์ ์ ์ ๋๋ ๊ท ์ผํ ์๊ธฐ ๊ฐ์ญ์๋ ๊ฑฐ์ ์ํฅ์ ๋ฐ์ง ์๊ฒ ๋ฉ๋๋ค.
ํํธ, ๊ธฐ๊ณ์ ๊ตฌ์กฐ ์ธก๋ฉด์์ ์ด ์ผ์๋ ์ํตํ์ ํํํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฟ ์ ์ ์ฌ์ฉํ์์ต๋๋ค. ์ด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์๋ ํผ๋ผ๋ฏธ๋ํ ๋๊ธฐ๋ ๋ ํํ์ ํ์ฑ์ฒด๋ฅผ ์ฐ๊ธฐ๋ ํ์ง๋ง, ํํํ๊ณ ๋์ ์ ์ด๋ฉด์ ์ฃผ๋ฉด ์ ์ด ์ ์์์ด ๊ธฐ์ธ์ด์ง๋ ๊ฒ์ ์ค์ด๊ณ ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๊ฐ์ธ๋ ์์ ์ ์ธ ์ ์ด์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ค๋ ์ด์ ์ด ์์ต๋๋ค. (์์ ์ฃผ๋ณ ํ์ฑ์ฒด๋ฅผ ์ก๋ฉด์ฒด๋ก ๋ง๋ค๊ณ ๊ทธ ์์ ์์ ํผ๋ถ๋ฅผ ๋ฎ๋ ํํ๋ ๋์์ด ๋ ์ ์๋ค๊ณ ํฉ๋๋ค.) ์์์ ํ์ฑ์ฒด ๋ด๋ถ์ ๋งค๋ฆฝ๋์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ธ๋ถ์ ์ง์ ์ ์ดํ์ง ์์ผ๋ฉฐ, ์ผ์๊ฐ ์ฒ ์ ๋ฌผ์ฒด์ ๋ฌ๋ผ๋ถ๋ ์ผ๋ ๋ฐฉ์งํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด ์ผ์์ ์ค๊ณ์์ ์ค์ํ ํธ๋ ์ด๋์คํ๋ก ์ต๋ ์ธก์ ํ ๋ฒ์(full-scale force)์ ๋ฏผ๊ฐ๋(signal-to-noise ratio, SNR)๋ฅผ ๋ค ์ ์์ต๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ ํฐ ์์์ด๋ ์์์ด ๊ฐํ ์์์ ์ฐ๋ฉด ํฝ์ ์ด ์ป๋ ์๊ธฐ ์ ํธ๊ฐ ์ปค์ ธ SNR์ ํฅ์๋์ง๋ง, ํ์ฑ์ฒด์ ๊ฐ์ฑ๊ณผ ๋๊ป์ ๋ฐ๋ผ ์ผ์๊ฐ ๊ฒฌ๋ ์ ์๋ ์ต๋ ํ์๋ ํฐ ๋ณํ๊ฐ ์์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด ์์๊ณผ ์ผ์ ๊ฐ ๊ฑฐ๋ฆฌ(airgap)๋ฅผ ์ค์ด๋ฉด ์ ํธ๋ ์ปค์ง์ง๋ง ์์์ด ์์ง์ผ ์ ์๋ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ฌ์ ๊ฐ ์ค์ด๋ค์ด ์ต๋ ์ธก์ ํ์ด ๊ฐ์ํฉ๋๋ค. ํ์ฑ์ฒด์ ๊ฒฝ๋(hardness)๋ ์ ์ฌํ trade-off๋ฅผ ๋ณด์ด๋๋ฐ, ๋ ๋จ๋จํ ์ฌ๋ฃ์ผ์๋ก ๋์ผ ํ์ ์์ ๋ณ์๊ฐ ์์์ ธ ์ ํธ ๋ณํ๋์ด ์์์ง๋ฏ๋ก ๊ฐ๋๋ ๋จ์ด์ง์ง๋ง, ํฐ ํ์๋ ๋ ๋ณํ๋๋ฏ๋ก ์ต๋ ์ธก์ ๋ฒ์๋ ์ปค์ง๋๋ค. ํ์ฑ์ฒด์ ์ง๋ฆ(diameter) ์ญ์ ์ํฅ์ ์ฃผ๋๋ฐ, ์ง๋ฆ์ ํค์ฐ๋ฉด ๋์ผ ํ์ด ๋์ ๋ฉด์ ์ผ๋ก ๋ถ์ฐ๋์ด ์์ ์๋ ๊ตญ๋ถ ์๋ ฅ์ด ๋ฎ์์ง๋ฏ๋ก ์ ํธ๊ฐ ์ค์ด๋ค์ง๋ง ๋์ ๋ ํฐ ํ๊น์ง ๋ฒํธ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ์ฉ์ผ๋ก ์ฝ 2 N ์ ๋์ ํ์ค์ผ์ผ ํ์ ๋ชฉํ๋ก ์ค๊ณ๋ฅผ ์ต์ ํํ๊ณ , ์ด๋ ์ค์ ์๋น์ค ๋ก๋ด ์๋์ด ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ๋ฌผ์ฒด(์: ๋ฌ๊ฑ)๋ฅผ ๋ค๋ฃฐ ๋ ์ฌ์ฉํ๋ ํ ๋ฒ์์ ์ ์ฌํ ์์ค์ ๋๋ค.
2.3 ์ฃผ์ ๊ธฐ์ฌ
์ด ๋ ผ๋ฌธ์ด ์ ์ํ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์๋ ๊ธฐ์กด ๊ธฐ์ ๋๋น ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์ฃผ์ ํ์ ๊ณผ ์ฑ๋ฅ ๊ฐ์ ์ ๋ฌ์ฑํ์ต๋๋ค.
์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ ์ต์ ๋ฅผ ์ํ ๋ค์ค ํฝ์ ์ฐจ๋ ์ค๊ณ: ๋จ์ผ 3์ถ ํ ์ผ์๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ํฝ์ ์ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ ๊ต๋์ ์ทจ์ฝํ์ฌ, ์ฃผ๋ณ์ ์์์ด๋ ์ ๋ฅ๊ฐ ์์ ๊ฒฝ์ฐ ์ธก์ ํ ๊ฐ์ด ํฌ๊ฒ ์๊ณก๋์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ผ์๋ 4๊ฐ์ ์ผ์ ํฝ์ ์ด ์นฉ ๋ด๋ถ์์ ๋ฐ์ง ๋ฐฐ์ด๋์ด ์์ด, ๋ชจ๋ ํฝ์ ์ ๊ณตํต์ผ๋ก ์ธ๊ฐ๋๋ ๊ท ์ผ ์๊ธฐ์ฅ์ ์๋ก ์๊ฑฐํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ฆ, ๊ฐ ํฝ์ ์ ์ถ๋ ฅ์์ ๊ณตํต ์ฑ๋ถ(ํ๊ท ๊ฐ)์ ๋นผ๋ฉด ์์ ์์น ๋ณํ๋ก ์ธํ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ๋ณํ๋ง ๋จ๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ํฅ ์์ด ์ค์ง ์ ์ด๋ ฅ์ ์ํ ์ ํธ๋ง์ ์ฝ์ด๋ผ ์ ์๊ฒ ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์๋ฆฌ๋ Helmholtz ์ฝ์ผ๋ก ยฑ2 mT์ ๊ฐํ ์๊ธฐ์ฅ์ ๊ฑธ์ด ์คํํ ๊ฒฐ๊ณผ์์ ์ ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. ์ ์๋ ์ผ์๋ ยฑ2 mT์ ๊ท ์ผ ์ธ๋ ํ๋๊ฐ ์กด์ฌํด๋ ์ถ๋ ฅ ํ ์ค์ฐจ๊ฐ ์ ์ฒด ๋ฒ์์ ์ฝ 0.3%์ ๋ถ๊ณผํ์ง๋ง, ๋์ผ ์กฐ๊ฑด์์ ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ํฝ์ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋์ํ๋๋ก ์ค์ ํ๋ฉด ์ฝ 20%์ ๋ฌํ๋ ํฐ ์ค์ฐจ๊ฐ ๋ฐ์ํ์ต๋๋ค. ์ด๋ ๋ ์๋ฆฟ์(์ฝ 100๋ฐฐ) ์ด์์ ์ธ๋ ๋ด์ฑ ํฅ์์ผ๋ก, ๋ก๋ด์ ์ผ์๋ฅผ ์ฅ์ฐฉํ ์ํฉ์์ ๋ชจํฐ๋ ์ฃผ๋ณ ์์์ผ๋ก ์ธํ ์๋ชป๋ ํ ํผ๋๋ฐฑ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ์ค์ผ ์ ์์์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค.
๊ณ ์ฐจ ๋ชจ๋ธ ๊ธฐ๋ฐ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ์คํ์ ๊ฒ์ฆ: ์ฌ๋ฌ ํฝ์ ์ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ข ํฉํ์ฌ 3์ถ ํ์ผ๋ก ๋ณํํ๊ธฐ ์ํด, ์ ์๋ค์ ๋คํญ ํ๊ท ๋ชจ๋ธ์ ์ด์ฉํ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ ์ฒด๊ณ๋ฅผ ๊ตฌ์ถํ์ต๋๋ค. 4๊ฐ ํฝ์ ๋ก๋ถํฐ ์ป์ B_x, B_z ๊ฐ๋ค์ ๋ํด ์ฐ์ ์จ๋์ ๋ฐ๋ฅธ ์ผ์ ๊ฐ๋ ๋ณํ๋ฅผ 2์ฐจ ๋ณด์ ํ๊ณ , ๊ฐ ์ถ ์ฑ๋ถ์ ํ๊ท ์ ์ ๊ฑฐํ์ฌ ์๊ธฐ์ฅ ๊ตฌ๋ฐฐ ์ฑ๋ถ์ ์ถ์ถํ์ต๋๋ค. ์ด์ด์ ๊ฐ ํฝ์ ์ B ๋ฒกํฐ ํฌ๊ธฐ(norm)๊น์ง ํฌํจํ์ฌ ํฝ์ ๋น 3๊ฐ์ ํน์ง์ ๋ง๋ค๊ณ (์ด 12์ฐจ์), ์ด๋ค์ 2์ฐจ๊น์ง ์กฐํฉํ ๋คํญ์ ํน์ง 91๊ฐ๋ฅผ ์์ฑํ์์ต๋๋ค. ๋ง์ง๋ง์ผ๋ก ์ด 91์ฐจ์ ๋ฒกํฐ์ ๋ํด ์ ํ ๊ฐ์ค์น ํ๋ ฌ(91ร5)๋ฅผ ๊ณฑํ์ฌ 5๊ฐ์ ์ถ๋ ฅ(3์ถ ํ F_x, F_y, F_z ๋ฐ ์ํ๋ฉด๋ด 2์ถ ํ ํฌ T_x, T_y)๋ฅผ ๊ณ์ฐํ๋๋ก ๋ชจ๋ธ์ ์ค๊ณํ์ต๋๋ค. (์์์ ์ถ ๋์นญ์ฑ ๋๋ฌธ์ ์์ง ๋ฐฉํฅ ํ ํฌ T_z๋ ๊ฐ์งํ ์ ์์๋ ์ธ๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค.) ์ด๋ฌํ ๋ชจ๋ธ์ ๊ฐ์ค์น ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ ์ค์ ํ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ด์ฉํด ํ์ต๋์๋๋ฐ, ATI Nano17 6์ถ ๋ก๋์ ์ ์ฅ์ฐฉํ 3์ถ ์คํ ์ด์ง๋ก ์ผ์๋ฅผ ๋๋ฌ๊ฐ๋ฉฐ ์ฝ 13,000๊ฐ์ ๋ค์ํ 3D ์์น์์ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ๊ณผ ์ฐธ์กฐ ํ์ ์ธก์ ํ ๋๊ท๋ชจ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ ์ํํ์ต๋๋ค. ์์ง๋ ๋ฐ์ดํฐ์ ๋ํด ํ๋ฒ ์์ค(Huber loss)๊ณผ L1 ์ ๊ทํ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ํ๋ฅ ์ ๊ฒฝ์ฌํ๊ฐ๋ฒ์ผ๋ก ์ต์ ์ ๋งคํ ๊ฐ์ค์น๋ฅผ ํ์ตํ ๊ฒฐ๊ณผ, ๋ชจ๋ธ์ด ์์ธกํ ํ๊ณผ ๋ก๋์ ์ด ์ธก์ ํ ํ ๊ฐ ์๊ด๋๊ฐ ์์ง ํ F_z์ ๋ํด R^2 = 0.996, ์ํ ํ F_x, F_y์ ๋ํด์๋ 0.966 ๋ฐ 0.949๋ก ๋งค์ฐ ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ์ต๋๋ค. ์ด๋ 3์ถ ์ ์ฒด์ ๊ฑธ์ณ ์ ๋ฐํ ํ ๋ณต์์ด ๊ฐ๋ฅํจ์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ฉฐ, ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง๋ก 2์ถ ํ ํฌ๋ ๋์ ์๊ด๋๋ก ์ผ์นํจ์ ํ์ธํ์ต๋๋ค. ๋ํ ์ผ์ IC ๋ด๋ถ์ ์จ๋ ์ผ์๋ฅผ ํ์ฉํ 1์ฐจ ๋ณด์ ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ผ๋ก ์จ๋ ๋ณํ(0โ50 โ)์ ๋ฐ๋ฅธ ์ถ๋ ฅ ๋๋ฆฌํํธ๋ฅผ ์ต์ํํ์ฌ, ์ด ํฝ์ฐฝ์ผ๋ก ์ธํ ์ค์ฐจ๋ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๋ณด์ํ์ต๋๋ค.
๊ณ ํด์๋ ๋ฐ ๊ณ ๊ฐ๋ ํ ๊ฐ์ง ์ฑ๋ฅ: ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ค๊ณ๋ ์ ํธ ๊ฐ ์ฐจ๋ ๋์์ผ๋ก ์ธํด ์ด๋ก ์ ์ผ๋ก ์ ํธ ๋ ์ก์๋น(SNR)๊ฐ ๋ฎ์์ง ์ฐ๋ ค๊ฐ ์์์ต๋๋ค. ๋งค์ฐ ์ธ์ ํ ํฝ์ ๋ค์์ ์ธก์ ํ๋ ์๊ธฐ์ฅ ๋ถํฌ ์ฐจ์ด๋ ์ ๋๊ฐ์ ๋นํด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ๋ฏธ์ธ ์ ํธ๋ฅผ ์ฆํญํ๋ ๊ณผ์ ์์ ์ก์ ์ํฅ์ด ์ปค์ง ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋ ผ๋ฌธ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, ์ ์๋ ์ผ์๋ ์ฝ 2.7 mN (0.0027 N)์ ํ ๋ถํด๋ฅ(RMS ๊ธฐ์ค)์ ๋ฌ์ฑํ์ฌ, ์ธ๊ฐ ์ด๊ฐ ์์ค์ผ๋ก ์ ์๋ 10 mN ๋ชฉํ์น๋ฅผ ํจ์ฌ ๋ฐ์ด๋๊ณ ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ํฝ์ ์๊ธฐ ์ผ์๋ค๊ณผ๋ ๋๋ฑํ ์์ค์ ํด์๋๋ฅผ ์ ์งํ์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ ํ 0.3 ๊ทธ๋จ ๋ฏธ๋ง์ ๋ณํ๋ ๊ตฌ๋ณํ ์ ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ํด๋นํฉ๋๋ค. ํฅ๋ฏธ๋ก์ด ์ ์, ๋ค์ค ํฝ์ ์ ์ ํธ ๊ฒฐํฉ์ผ๋ก ์คํ๋ ค SNR์ ํฅ์์์ผ ์ด๋ฌํ ์ฑ๋ฅ ์์ค์ ๋ณด์ํ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ฆ, ํฝ์ ๋ค์ ์ถ๋ ฅ์ ์กฐํฉํจ์ผ๋ก์จ ์ก์ ํ๊ท ํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ป์๊ณ , ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ๋ํ ๋ฉด์ญ์ฑ์ ํ๋ณดํ๋ฉด์๋ ๋์ ํ ๊ฐ๋๋ฅผ ์ ์งํ ์ ์์์ต๋๋ค. ์ ์ฒด ์ผ์์ ํฌ๊ธฐ๋ 5ร5ร5 mm ์ ๋๋ก ๋งค์ฐ ์์ ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ ๋ด๋ถ์ ์ฝ๊ฒ ๋ด์ฅํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ํ ํจํค์ง์ ์ผ์ ์์์ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ ํ๋ก ์ผ๋ถ๊ฐ ์ง์ ๋์ด ์์ด ์ํ ๋ชจ๋๋ก ๋๋ ์์ฐํ๊ธฐ์ ์ ํฉํ ํํ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ฃผ์์ต๋๋ค.
2.4 ๊ธฐ์ ์ ๋ถ์
1) ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์์์ ๋น๊ต: ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ์ฅ ์ผ์๋ ๊ธฐ์กด์ ๋จ์ผ ํ์ผ์ ๊ธฐ๋ฐ ์ด๊ฐ ํฝ์ ๋ค๊ณผ ๋น๊ตํด ๊ทผ๋ณธ์ ์ธ ์ ์๊ธฐ์ ์ด์ ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๊ณผ๊ฑฐ์ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ค์ Melexis MLX90393๊ณผ ๊ฐ์ ๋จ์ผ ํฝ์ 3์ถ ํIC๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์๊ณ , ์ฌ๋ฌ ์ฅ์ ๋ฐฐ์ดํ์ฌ ์ด๊ฐ ํผ๋ถ๋ฅผ ๊ตฌ์ฑํ๋๋ผ๋ ๊ฐ ํฝ์ ์ด ๊ฐ๋ณ์ ์ผ๋ก ์ธ๋ ํ๋์ ์ทจ์ฝํ๋ค๋ ํ๊ณ๊ฐ ์์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ๋์ผ ์นฉ ๋ด์ ๋ณต์์ ์ผ์๋ฅผ ๋ฃ์ด ์ธ๋์ ์ฅ๋น์ (ํ๋์จ์ด์ ์ผ๋ก ์์)ํ๋ ๊ฐ๋ ์ ์ ์ฉํ์ฌ ์ด ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐํ์ต๋๋ค. ์ด ์ ๊ทผ๋ฒ์ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์ธ๋ถ ๋ณด์ ์ฅ์น ์์ด๋ ์ผ์ ์์ฒด๊ฐ ํ๊ฒฝ ์๊ธฐ ๋ ธ์ด์ฆ๋ฅผ ๊ฒฌ๋ ์ ์๋ ๋ด์ฑ์ ๊ฐ์ง๊ฒ ํ๋ค๋ ์ ์์ ๊ฐ์น๊ฐ ํฝ๋๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ, ์ผ์๋ฅผ ๋ก๋ด์ ํตํฉํ ๋ ๋ชจํฐ, ์คํผ์ปค, ์ ๋ฅ์ ๋ฑ์ ์ํฅ์ผ๋ก ์ผ์๊ฐ ์ค์๋ํ๊ฑฐ๋ ์ฌ๋ณด์ ํด์ผ ํ๋ ๋น๋๋ฅผ ํฌ๊ฒ ์ค์ฌ์ค ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ๋๋ฉ๋๋ค.
๋ํ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ๋ฐฉ์์ ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ผ์์ ์ฅ์ ์ ๊ทธ๋๋ก ์ ์งํฉ๋๋ค. ์ฆ, ์ ์ด๋ฉด์ด ๋ถ๋๋ฌ์ด ํ์ฑ์ฒด๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ ธ ์์ด ์ฌ๋ ํผ๋ถ์ฒ๋ผ ๋ฌผ์ฒด์ ์์ ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ฐฉํ ์ ์๊ณ , ์ผ์ ๋จ๊ฐ๋ ์นด๋ฉ๋ผ๋ ๊ด์ผ์์ ๋นํด ๋ฎ์ผ๋ฉฐ, ์๋ชจ ์ ๋ ฅ๋ ๋งค์ฐ ์ ์ต๋๋ค. Optical ์ผ์์ ๊ฒฝ์ฐ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฌธ์ ๋ ์์ง๋ง ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ ๊ดํ ๋ถํ๊ณผ ์นด๋ฉ๋ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ๊ฐ๊ฒฉ์ด ์ผ์ ํ ๊ฐ๋น ์๋ฐฑ ๋ฌ๋ฌ ์์ค์ผ๋ก ๋์๋ ๋ฐ๋ฉด, ์๊ธฐ์ฅ ์ผ์๋ ์ ๋ฌ๋ฌ ์์ค์ผ๋ก ๋๋ ์์ฐ์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์ค์ ๋ก Meta(Facebook) AI์์ ๋ฐํํ ReSkin๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ฐฉํ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ ๊ฐ๋น 6๋ฌ๋ฌ ์ ๋์ ์ ๊ฐ์ ์ ์ํ ์ ์์ผ๋, ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ทจ์ฝํ๋ค๋ ํ๊ณ๊ฐ ์ง์ ๋์์ต๋๋ค. ๋ณธ ๋ ผ๋ฌธ์ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ด๋ฌํ ์ค์ฉ์ ์ฝ์ ์ ๊ทผ๋ณธ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ ํจ์ผ๋ก์จ, ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์ ๊ธฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์ค ๋จ๊ณ์์ ์ฐ์ ํ์ฅ์ผ๋ก ๊ฐ์ ธ๊ฐ๋ ๋ฐ ๊ธฐ์ฌํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ ๋๋ค. ์์ธ๋ฌ Honeywell์ FMA ์๋ฆฌ์ฆ์ ๊ฐ์ ์์ฉ ์ํ ํ ์ผ์๋ ์์ ์ ํญ ์์๋ฅผ ์ด์ฉํด ์์ ํ์ ์ ๋ฐ ์ธก์ ํ์ง๋ง ์์ง ๋ฐฉํฅ ํ๋ง ๊ฐ์งํ ์ ์๋ ์ ์ฝ์ด ์๋๋ฐ, ์ด ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์๋ ํ ๊ฐ ๋ชจ๋๋ก 3์ถ ํ์ ๋ชจ๋ ์ธก์ ํ ์ ์์ด ํ์ธต ํ๋ถํ ์ด๊ฐ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ข ํฉํ๋ฉด, ์ ์๋ ์ผ์๋ ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ค์ ์ฅ์ (3D ๋ฒกํฐ ์ธก์ , ๋ถ๋๋ฌ์ด ํ๋ฉด, ์ ๊ฐ๊ฒฉ, ์ํํ)์ ๊ทธ๋๋ก ๊ฐ์ง๋ฉด์๋ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ฝ์ ์ด๋ ์ธ๋ ํ๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ ๊ท ํ ์กํ ํ์ ์ด๋ผ๊ณ ํ๊ฐํ ์ ์์ต๋๋ค.
2) ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ค๊ณ์ ์ฅ๋จ์ : ๋ค์ค ํฝ์ ์ ์ด์ฉํ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ๊ตฌ์กฐ๋ ํ๋์จ์ด์ ์ผ๋ก ๋ณด๋ค ๋ณต์กํฉ๋๋ค. ๋จ์ผ ์ผ์๋ก ๊ตฌํํ๋ ๊ฒ์ 4๋ฐฐ์์ ์ผ์๋ก ๊ตฌํํ๋ฏ๋ก, ์นฉ ์ค๊ณ๋ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ ์ธก๋ฉด์์ ์ ํธ ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ๋์ด๋๊ณ ๋ณด์ ํด์ผ ํ ์์๊ฐ ๋ง์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด 4๊ฐ ํฝ์ ์ ์๋ ์ ๋ ฌ์ด๋ ๊ฐ๋ ํธ์ฐจ ๋ฑ์ ๊ณ ๋ คํ ๋ณด์ ์ด ์ ํ๋์ด์ผ ํ๊ณ , 3์ถ ํ์ ์ป๊ธฐ ์ํด ๋ค์ฐจ์ ๋คํญ์ ์ฐ์ฐ์ ์ํํด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ์ ์ค์ ํ์ผ๋ก ๋ณํํ๊ธฐ ์ํด 13,000๊ฐ๋ ๋๋ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ๋ชจ์ ํ์ต์ํจ ๋ฐ ์๋๋ฐ, ์ด ์ ๋์ ๋ฐ์ดํฐ ์์ง ๋ฐ ๋ชจ๋ธ ํธ๋ ์ด๋ ๊ณผ์ ์ ์ผ์ ์ ์ ํ ๋งค๋ฒ ์ํํ๊ธฐ ์ด๋ ค์ฐ๋ฏ๋ก ์์ฐ ์์๋ ๋ชจ๋ธ ์ผ๋ฐํ ๋๋ ๊ณต์ฅ ์ด๊ธฐ๋ณด์ ๋ฑ์ ํ์ค์ ์ธ ๋ฐฉ์์ด ํ์ํ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋ค๋ง ์ ์๋ค์ ํ์ฌ์ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ ์คํ๋ผ์ธ(PC)์ผ๋ก ๊ตฌํ๋์์ง๋ง, ์ถฉ๋ถํ ๊ฒฝ๋ํ ๊ฐ๋ฅํ๋ฉฐ ์นฉ์ ํตํฉํ๊ฑฐ๋ ๋ง์ดํฌ๋ก์ปจํธ๋กค๋ฌ๋ก ์ค์๊ฐ ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๊ฒ๋ ๊ฐ๋ฅํ๋ค๊ณ ์ธ๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ ํ๋์ ์ ํ์ ์ผ๋ก๋, ์ด ์ผ์๊ฐ ์์์ ์ํ ํ์ ์ ๋ํด ๋์นญ ๊ตฌ์กฐ์ด๋ฏ๋ก ํ์ (z์ถ ํ ํฌ) ๊ฐ๋๋ ๊ฑฐ์ ์๋ค๋ ์ ์ ๋๋ค. ์ฆ, ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๋นํ๊ฑฐ๋ ํ๋ ํ ํฌ๊น์ง ํ ํฝ์ ๋ก ์ธก์ ํ๋ ๊ฒ์ ์ด๋ ต๊ณ , ์ด๋ฌํ 6์ถ ์ ๋ณด๊น์ง ํ์ํ ๊ฒฝ์ฐ ์ผ์๋ฅผ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ ๋ฐฐ์นํ๊ฑฐ๋ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์์ ํด์ผ ํ ๊ฒ์ ๋๋ค. SNR ์ธก๋ฉด์ ๋จ์ ๋ ์ด๋ก ์ ์ผ๋ก ์กด์ฌํ๋๋ฐ, ๊ท ์ผํ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ ๊ฑฐ๋๋ ๊ทธ๋งํผ ์ ์ฉ์ ํธ ์ฑ๋ถ๋ ์ฐจ๋ถ์ผ๋ก ์ธํด ๊ฐ์ํ๋ฏ๋ก, ์ฃผ์ด์ง ํ๋ก์์์ ์ก์ ๋น์ค์ด ์ปค์ง ์ ์์ต๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ๋ฉํฐํฝ์ ์ ํธ ๊ฒฐํฉ์ผ๋ก ์ด ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์ด๋ ์ ๋ ๋งํํ์ง๋ง, ๊ทผ๋ณธ์ ์ผ๋ก ๋จ์ผ์ผ์ ๋๋น ์ ํธ ์ฌ์ (margin)๊ฐ ์ค์ด๋๋ ๊ฒ์ ๊ฐ์ํด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํฅํ์๋ ํ ์ผ์ ๋์ TMR์ด๋ GMR ๊ฐ์ ๊ณ ๊ฐ๋ ์๊ธฐ ์ผ์ ์์๋ฅผ ํฝ์ ๋ก ํ์ฉํ๊ฑฐ๋, ํฝ์ ์๋ฅผ ๋๋ ค ์ ํธ๋ฅผ ์ฆํญํ๋ ๋ฐฉ์๋ ๊ณ ๋ ค๋ ์ ์์ต๋๋ค. ์์ฝํ๋ฉด ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ๊ตฌ์กฐ๋ ์ฝ๊ฐ์ ๋ณต์ก์ฑ๊ณผ ์ถ๊ฐ ๋ณด์ ๋ ธ๋ ฅ์ ์๊ตฌํ์ง๋ง, ๊ทธ ๋๊ฐ๋ก ์ค์ฌ์ฉ์ ์น๋ช ์ ์ด์๋ ์ธ๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ณ 3์ถ ๋ฒกํฐ์ ๋์ ํด์๋๋ฅผ ์ ์งํ๊ฒ ํด์ฃผ๋, ์ถฉ๋ถํ ํฌ์ ๊ฐ์น๊ฐ ์๋ ๊ฐ์ ์ผ๋ก ๋ณผ ์ ์์ต๋๋ค.
3) ๋ก๋ณดํฑ ํ๋ซํผ ํตํฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ: ๋ณธ ์ผ์๋ ์ด๋ฏธ ์ํ ํจํค์ง๋ก ๊ตฌํ๋์ด ์์ด ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ์ด๋ ๊ทธ๋ฆฌํผ์ ์์ฝ๊ฒ ์ฅ์ฐฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ ์๋ค์ ์์ฐ์ ์ํด ์ด ์ผ์๋ฅผ ์ดํ๋ฆฌ์ qbrobotics์ ์์ฉ qb SoftHand ๋ก๋ด ์์ ๋ถ์ฐฉํ๊ณ , ๊ฐ๋จํ ํ ์ ์ด ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ ์ ์ฉํ์ฌ ํ์ ์ ์ด์ง ์ฅ๋ ์คํ์ ์ํํ์ต๋๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ, ์ธ๋ ์์์ด ์๋ ์ํ์์๋ ์ด์ ์ ๋จ์ผ ํฝ์ ์ผ์์ ์ ํ ์ผ์ ๋ชจ๋ ํ์ ์ ์ ์ ํ ํ์ผ๋ก ์ก์์ง๋ง, ์ ๊ฐ๊น์ด์ ์์์ ๊ฐ์ ธ๋ค ๋์ ๋ ์ ๊ทผ๋ฒ์ ์ฐจ์ด๊ฐ ๊ทน๋ช ํ๊ฒ ๋๋ฌ๋ฌ์ต๋๋ค. ๋จ์ผ ํฝ์ ์ผ์๋ก ๋์ํ ๊ฒฝ์ฐ ์์์ ํ๋ ๋๋ฌธ์ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ์ด ์ค๋์ํ์ฌ ๋ก๋ด ์์ด ํ์ ์ ๋์ณ ๋ฒ๋ฆฌ๊ฑฐ๋ ์ง๋์น๊ฒ ํ์ ์ฃผ์ด ํฐ๋จ๋ฆฌ๋ ์ํฉ์ด ๋ฐ์ํ์ง๋ง, ๋ค์ค ํฝ์ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์๋ก ๋์ํ ๊ฒฝ์ฐ ์์์ด ๋งค์ฐ ๊ฐ๊น์ด ์ ๊ทผํด ์ฝ 3 mT ์์ค์ ๊ฐํ ๊ต๋์ด ๊ฐํด์ ธ๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ์ด ํ๋ค๋ฆฌ์ง ์์ ์์ด ํ์ ์ ๊ณ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ฅ๊ณ ์์ ์ ์์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ค์ ์์ฉ์์ ์ด ์ผ์๊ฐ ๊ฐ์ง๋ ํฐ ๊ฐ์ ์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค. ๋ก๋ด์ด ์ ์์ ํ ์ฃผ์๋ ์๊ธฐ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋ง์ ํ๊ฒฝ์์ ์์ ํ ๋๋ ์์ ์ ์ธ ๊ทธ๋ฆฝ ์ ์ด๋ฅผ ์ ์งํ ์ ์๊ณ , ์ถ๊ฐ ์ฐจํ ์์ด๋ ์ผ์๊ฐ ์๋ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ๋์ฑ์ด ์ด ์ผ์๋ ์์ ํ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ์ ์๋์๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ๊ธฐ์กด์ ๊ดํ์ ์ด๊ฐ ์ผ์์ฒ๋ผ ๋ณต์กํ ์ ๋ ฌ์ด๋ ๋ณด์ ์์ด๋ ์นฉ ๋จ์๋ก ๊ณต์ฅ ์ถํ ์ ๊ต์ ๋ ํํ์ ๋ชจ๋๋ก ์ ๊ณตํ ์ ์์ต๋๋ค. Melexis ๋ฑ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์ฒด๋ฅผ ํตํด ๋๋์์ฐ์ด ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ฉด, ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ๋ง๋ค ์์ญ ๊ฐ์ ์ด๊ฐ ํฝ์ ์ ํผ๋ถ์ฒ๋ผ ๋ถ์ด๋ ๊ฒ๋ ๋น์ฉ ๋ฉด์์ ํ์คํ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ์ค์ ๋ก ์ ์๋ค์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ โTactaxisโ๋ผ๋ ํ๋กํ ํ์ ์ผ์๋ก ๋ช ๋ช ํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ฐจํ ์ด ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์์ผ ๋๋ ์์ฐ ๊ฐ๋ฅ ์ ํํ๋ฅผ ์ถ์งํ ๊ณํ์์ ๋ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 2. ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ฅผ ๋ก๋ด ์์ ํตํฉํ์ฌ ํ์ ์ ์ก์ ์ํ์์ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ํฅ์ ์ํํ ์คํ ์ฅ๋ฉด. (a) ์ ์๋ ๋ค์ค ํฝ์ ์ผ์๋ ์์ ๊ฐํ ์์์ด ์ ๊ทผํด๋ ์ถ๋ ฅ์ด ๊ต๋๋์ง ์์ ๋ก๋ด ์์ด ํ์ ์ ๊ณ์ํด์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ฅ๊ณ ์๋ค. (b) ๊ธฐ์กด ๋จ์ผ ํฝ์ ์ผ์๋ ์์ ๋๋ฌธ์ ์ธก์ ๊ฐ์ด ๋ณ๋ํ์ฌ ๋ก๋ด ์์ด ํ์ ์ ๋์น๊ฑฐ๋ ๋๋ฌ ํฐ๋จ๋ฆฌ๋ ๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ฐ์ํ๋ค. (c) ์คํ์ ์ฌ์ฉ๋ ํํ๋ก ํ ์ ์ด ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ ๊ฐ๋ต๋.
2.5 ํ๊ณ์ ๋ฐ ํฅํ ๊ณผ์
๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์ ๊ธฐ์ ์ ์ธ๋ ํ๊ฒฝ์์์ ํ์ํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์ฆํ์์ง๋ง, ์ค์ฉํ๋ฅผ ์ํด ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ ํ๊ณ์ ๊ณผ ๋์ ๊ณผ์ ๋ ์กด์ฌํฉ๋๋ค. ๋จผ์ , ์ค๊ณ์ ํ์ฅ์ฑ(scale-up) ์ธก๋ฉด์์ ํ์ฌ ํ๋กํ ํ์ ์ 4ํฝ์ ํ ๋ฌถ์์ ์ผ์ ํ๋๋ก ๋์ํ์ต๋๋ค. ๋ก๋ด ์ ์ฒด ์๋ฐ๋ฅ์ด๋ ์๊ฐ๋ฝ์ ๋ค์์ ์ด๊ฐ ํฝ์ ๋ฐฐ์ด์ ํ์ฑํ๋ ค๋ฉด, ์ด์ ๊ฐ์ ์ผ์๋ฅผ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ ๋งคํธ๋ฆญ์ค ํํ๋ก ๋ฐฐ์นํด์ผ ํ๋๋ฐ, ์ด ๊ฒฝ์ฐ ์ธ์ ํ ์ผ์๋ค ๊ฐ ์์ ํ๋ ๊ฐ์ญ ๋๋ ํจํค์ง ๊ฐ ๊ฐ๊ฒฉ ๋ฑ์ ๋ํ ์ถ๊ฐ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค. ์์ปจ๋ ํฝ์ ์ฌ์ด ๊ฑฐ๋ฆฌ 2 mm ์์ค์์๋ ํ ํฝ์ ์ ์์์ด ์ฃผ๋ณ ํฝ์ ์ ์ผ์์ ์ํฅ์ ์ค ๊ฐ๋ฅ์ฑ๋ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ฌ๋ฌ ์ผ์ ๋ชจ๋์ ๋์์ ์ฌ์ฉํ ๋ ๋ฐ์ํ๋ ํฌ๋ก์คํ ํฌ(crosstalk)๋ฅผ ํ๊ฐํ๊ณ ๋ฐฉ์งํ๋ ์ค๊ณ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค. ๋คํํ, ์ด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์ ๋จ์ผ ํฝ์ ์๊ธฐ ์ผ์๋ฅผ 2ร2, 4ร4, 5ร5 ๋ฑ์ผ๋ก ๊ฒฉ์ ๋ฐฐ์ดํ ์ฌ๋ก๋ค์ด ์์๊ณ ํน๋ณํ ๋ฌธ์ ์์ด ๋์ํ์ผ๋ฏ๋ก, ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์ ์ญ์ ๋ชจ๋ ๋จ์๋ก ๋ฐฐ์ดํ๋ ๊ฒ์ด ์ถฉ๋ถํ ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ ๋๋ค.
๋ค์์ผ๋ก ์์ฐ ๋ฐ ๋ณด์ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ์์ ๊ธฐ์ ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ์ผ์๋ ์ ์กฐ ํ ๋น๊ต์ ๋ณต์กํ ๋ค์ฐจ์ ๋ณด์ ์ ์ฐจ๋ฅผ ๊ฑฐ์ณ์ผ ์ ํํ ํ ๊ฐ์ ์ถ๋ ฅํฉ๋๋ค. ์ด๋ ์ฐ๊ตฌ ๋จ๊ณ์์๋ ์ถฉ๋ถํ ๊ฐ๋ฅํ ์์ ์ด์ง๋ง, ์๋ง์ ์ผ์๋ฅผ ์์ฐํ์ฌ ์ผ์ผ์ด ๊ต์ ํ๊ธฐ์๋ ํ์ค์ ์ธ ๋น์ฉ๊ณผ ์๊ฐ์ด ๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๊ณต์ฅ ์ถํ์ ํ์ค ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ํ์ฉํด ๊ฐ๋ณ ์ผ์์ ๋ณด์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ฅผ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ธํ ํ๊ฑฐ๋, ์์ฐ ๊ณต์ ์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋์ฌ ์ผ์ ๊ฐ ํธ์ฐจ๋ฅผ ์ต์ํํจ์ผ๋ก์จ ๋ณด์ ๊ณผ์ ์ ๋จ์ํํ๋ ๋ฐฉ์ ๋ฑ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. Melexis ๋ณด๋์๋ฃ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์ด๋ฌํ ๊ณต์ ํตํฉ๊ณผ ์๋ ๊ต์ ์ ๋ํ ๋ก๋๋งต์ด ์ธ๊ธ๋๊ณ ์๋๋ฐ, ์ด๋ ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์๊ฐ ์์ฉํ๋๊ธฐ ์ํด ๋ฐ๋์ ๋์ด์ผ ํ ๊ณผ์ ์ ๋๋ค. ๋ํ ํ์ฌ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ๋ ์ธ๋ถ ํ๋ก์ธ์์์ ์ด๋ค์ง์ง๋ง, ์ต์ข ์ ์ผ๋ก๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ์ด ๋ฐ๋ก ํ ๊ฐ์ผ๋ก ์ ๊ณต๋ ์ ์๋๋ก ์จ์นฉ ์ ํธ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๋ฐ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๊ฒ์ ์ผ์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ ์์คํ ํตํฉ์ ๊ฐ์ํํ๊ณ , ํต์ ๋์ญํญ ์๊ตฌ๋ฅผ ์ค์ด๋ฉฐ, ์ค์๊ฐ ์ ์ด์ ์ ๋ฆฌํ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๊ธฐ๊ณ์ ์ ๋ขฐ์ฑ ๋ฐ ๋ด๊ตฌ์ฑ๋ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํฉ๋๋ค. ํ์ฑ์ฒด๋ก ๋ ์ผ์๋ ๋ฐ๋ณต๋ ํ์ค์ ๋ฐ๋ฅธ ํผ๋ก, ํฌ๋ฆฝ(creep) ํน์ฑ, ์จ๋ ๋ฐ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒฝ๋ ๋ณํ ๋ฑ์ด ๋ฐ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ์จ๋ ๋ณํ 0โ50 โ ๊ตฌ๊ฐ์์ ํ์ฑ์ฒด ์ดํฝ์ฐฝ๊ณผ ์ฐํ๋ก ์ธํ ํ ์ธก์ ๋๋ฆฌํํธ๊ฐ ์ต๋ 20~30%๊น์ง ์๊ธฐ๋ ๊ฒ์ ํ์ธํ๊ณ 1์ฐจ ๋ณด์ ์ผ๋ก ์ด๋ฅผ ๋ณด์ํ์์ง๋ง, ์ฅ์๊ฐ ์ฌ์ฉ ์์ ์ด์ /๊ธฐ๊ณ์ ์์ ์ฑ์ ์ถ๊ฐ ๊ฒ์ฆ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด 50 โ ์ด์ ๊ณ ์จ ํ๊ฒฝ์ด๋ 0 โ ์ดํ ์ ์จ ํ๊ฒฝ, ๋๋ ์๋ง ํ ์ด์์ ๋ฐ๋ณต ํ ์์ฉ ํ์๋ ์ด๊ธฐ์ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ด ์ ์ง๋๋์ง ๊ด์ฐฐํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์์์ ์๊ตฌ์ํ ์ธ๊ธฐ ๊ฐ์(demagnetization)๋ ํ์ฑ์ฒด์ ๋ณํ ์๊ตฌ์๋ฅ(hysteresis) ๋ฑ์ด ๋ฐ์ํ๋ฉด, ํ-์๊ธฐ์ฅ ๋ชจ๋ธ์ด ๋ณ๋ํ์ฌ ์ค์ฐจ๊ฐ ๋์ด๋ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ์ ๋ํด์๋ ์์ ์ฌ์ง ๋ฐ ์ฝํ ์ ๊ฐ์ , ํ์ฑ์ฒด ์์ฌ์ ์ ํ, ์จ๋ ์ผ์ ํผ๋๋ฐฑ์ ํ์ฉํ ๋ค์ฐจ์ ์จ๋ ๋ณด์ ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ ๋ฑ์ผ๋ก ๋์ํ ์ ์์ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋์ผ๋ก, ์ด ์ผ์๋ ์์ง ํ ํฌ ์ฑ๋ถ์ ๋ํด ๋ฏผ๊ฐํ์ง ์๋ค๋ ํ์์ ํ๊ณ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ ์ด๊ฐ์๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ ์ด๋ ฅ 3์ถ ์ ๋ณด๋ง์ผ๋ก๋ ์ถฉ๋ถํ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ง์ง๋ง, ๋ง์ฝ ๋ฌผ์ฒด์์ ๋ง์ฐฐ๋ก ๋ฐ์ํ๋ ๋นํ๋ฆผ์ ๊ฐ์งํ๋ ค๋ฉด ์ผ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ถ๊ฐํ๊ฑฐ๋ ๋ค๋ฅธ ๋ณด์กฐ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ๋ง๋ จํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด ์ญ์ ๋ฐฐ์ด๋ก ๋ ๊ฐ์ ์์์ ๋ฐฐ์นํ๊ฑฐ๋, ๋น๋์นญ ํ์์ ์์์ ์ฌ์ฉํด ํ ํฌ์ ๋ํ ์๋ต์ ์ผ๋ถ๋ฌ ๋ง๋ค์ด๋ด๋ ๋ฑ์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ํฅํ ์งํ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ฝํ์๋ฉด, ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ ํฐ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ง๋ ๊ธฐ์ ์ด์ง๋ง ์์ฉ ๋ก๋ด์ ํญ๋๊ฒ ์ ์ฉ๋๊ธฐ๊น์ง๋ ์์ฐ ๊ณต์ ์ต์ ํ, ๋ค์ค ์ผ์ ์ด๋ ์ด ๊ตฌ์ฑ, ์ฅ๊ธฐ ์์ ์ฑ ๊ฒ์ฆ ๋ฑ์ ์ถ๊ฐ ๊ณผ์ ๊ฐ ๋จ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ถ๋ถ์ ํฅํ ์ฐ๊ตฌ ๋ฐ ๊ฐ๋ฐ์ ํตํด ์ถฉ๋ถํ ๊ฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ค์ ์ ํํ ์ ์์ง๋์ด๋ง ์๋ฃจ์ ์ผ๋ก ๋ณด์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ๋๋ฉ๋๋ค.
2.6 ๋ถ์ ๋ฐ ๋นํ์ ๋ ผํ
์ด ๋ ผ๋ฌธ์ ๋ก๋ด์ฉ ์ด๊ฐ ์ผ์ ๋ถ์ผ์์ ์ค๋ซ๋์ ์ง์ ๋์ด ์จ ์ธ๋ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐํ๊ธฐ ์ํ ์ฐฝ์์ ํด๋ฒ์ ์ ์ํ๊ณ , ์ด๋ฅผ ์คํ์ ์ผ๋ก ์ ์ฆํ๋ค๋ ์ ์์ ํฐ ์์๊ฐ ์์ต๋๋ค. ๊ธฐ์ ์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋งค์ฐ ๋ช ํํ์ฌ, ๊ธฐ์กด ์๊ธฐ ์ด๊ฐ์ผ์์ ํ์ค ์ ์ฉ์ฑ์ ๊ฐ๋ก๋ง๋ ์ฅ์ ๋ฅผ ๊ทน๋ณตํ๊ณ ๋ ์ฑ๋ฅ ํํ์ด ๊ฑฐ์ ์์์ ๋ณด์ฌ์ฃผ์์ต๋๋ค. ์ค์ ๋ก 2 mT ์์ค์ ๊ฐํ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ ํ์์๋ ์ผ์ ์ถ๋ ฅ ์ค์ฐจ๊ฐ 0.3%์ ๋ถ๊ณผํ๋ค๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋๋ผ์ด ์์ค์ด๋ฉฐ, 3์ถ 2.7 mN ํด์๋ ์ญ์ ํ์ฌ ๋ณด๊ณ ๋ ์ด๊ฐ ์ผ์ ์ค ์ต์์๊ถ์ ์ํฉ๋๋ค. ํนํ ์ฃผ๋ชฉํ ์ ์, ์ด๋ฌํ ์ธ๋ ๋ฉด์ญ ์ค๊ณ๊ฐ ๋ก๋ด ์ ์ด์ ๋ฏธ์น๋ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ง์ ์์ฐํ ๋ถ๋ถ์ ๋๋ค. ๋จ์ํ ์ผ์ ์คํ ํฅ์์ ๊ทธ์น์ง ์๊ณ , ์ค์ ๋ก๋ด ์์ผ๋ก ํ์ ์ ์ก๋ ๋ฐ ์ ์ฉํ์ฌ ๊ธฐ์กด ์ผ์์์ผ๋ฉด ๋ฐ์ํ์ ๋ฌธ์ (์์์ผ๋ก ์ธํ ์ค์๋)๋ฅผ ์๋ก์ด ์ผ์๋ก๋ ํด๊ฒฐํ ์ ์์์ ๋ช ํํ ๋ณด์ฌ์ฃผ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ด ๊ธฐ์ ์ ์ค์ฉ์ ๊ฐ์น๋ฅผ ๋ ์๋ค์๊ฒ ๊ฐํ๊ฒ ์ธ์์ํค๋ ์์๋ก, ์์ฉ ์ธก๋ฉด๊ณผ ํ์ ๊ธฐ์ฌ์ ๊ท ํ์ ์ ๋ง์ถ ์ฌ๋ก๋ผ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ฌผ๋ก ํํธ์ผ๋ก๋ ์ด ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ค๋ฃจ์ง ์์ ์ ์ฌ์ ๋ฌธ์ ๋ค๋ ์กด์ฌํฉ๋๋ค. ์ฒซ์งธ, ์จ๋ ๋ณํ ๋ฐ ์ฅ๊ธฐ ์์ ์ฑ ์ด์๋ ์์ ํ ํด๊ฒฐ๋ ๊ฒ์ด ์๋๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ 0โ50 โ ๊ตฌ๊ฐ์์์ ์ ํ ๋ณด์ ์ผ๋ก ์จ๋ ๋๋ฆฌํํธ๋ฅผ ์ค์์ง๋ง, ์ผ์๊ฐ ๋ค์ํ ํ๊ฒฝ(์: -20 โ ๋๋์ฐฝ๊ณ ๋ 70 โ ์จ์ค ๋ฑ)์์ ์ฌ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ๋ ์๊ฐ์ ์ด์์ ์๊ฐ ๊ฒฝ๊ณผ ํ์๋ ๋์ผํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์งํ๋์ง๋ ์ถ๊ฐ ๊ฒ์ฆ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ํ์ฑ์ฒด์ ์ด์ ํน์ฑ๊ณผ ์์์ ์จ๋ ์์กด์ฑ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ธฐ๊ณ์ ํผ๋ก๋ ์๊ฐ์ด ์ง๋ ์๋ก ๋ณด์ ๋ชจ๋ธ๊ณผ ์ด๊ธ๋ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์๋ ์ฌ๊ต์ (auto-calibration)์ด๋ ์ถ๊ฐ ์ผ์(์: ์คํธ๋ ์ธ ๊ฒ์ด์ง๋ก ํ์ฑ์ฒด ๋ณํ ์ง์ ์ธก์ ๋ฑ) ๋์ ๋ฑ์ ๋ณด์์ด ๊ณ ๋ ค๋ ์ ์์ต๋๋ค. ๋์งธ, ๋น๊ท ์ผํ ์ธ๋ถ ์๊ธฐ์ฅ์ ๋ํ ๋ฉด์ญ์ฑ์ ์ฌ์ ํ ํ๊ณ๊ฐ ์์ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์๋ ๊ณต๊ฐ์ ์ผ๋ก ๊ฑฐ์ ์ผ์ ํ ์ธ๋ ํ๋๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐ ์ต์ ํ๋์ด ์์ง๋ง, ๋ง์ฝ ์ธ๋ถ ์์์ด ์ผ์ ํ์ชฝ ๊ฐ๊น์ด์ ์์นํ์ฌ ๊ตญ๋ถ์ ์ผ๋ก ๊ฐํ ๊ตฌ๋ฐฐ ํ๋๋ฅผ ์ ๋ฐํ๋ค๋ฉด ์ด๋ฅผ ์์ ํ ๊ตฌ๋ถํด๋ด๊ธฐ๋ ์ด๋ ค์ธ ์ ์์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด ๋ก๋ด์ด ์๊ตฌ์์ ์์ฒด๋ฅผ ์ง๊ฑฐ๋, ๊ฐํ ์๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ์ง๋ ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ ๊ฒฝ์ฐ, ๊ทธ ๋ฌผ์ฒด์์ ๋์ค๋ ํ๋ ํจํด์ด ์ผ์์ ์์ ๋ชจ๋ธ๊ณผ ์์ฌ ์ค์ฐจ๋ฅผ ์ผ์ผํฌ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฐ ์ํฉ์ ์ผ๋ฐ์ ์ด์ง๋ ์์ง๋ง, ๊ทธ๋๋ ์ผ์์ ์ ์ฉ ๋ฒ์์ ๋ํ ํ๊ณ๋ก ์ธ์งํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์ ์งธ, ์๊ธฐ์ ๊ฐ์ญ ์ธ์ ๋ค๋ฅธ ์์ธ๋คโ์๋ฅผ ๋ค์ด ์ธ์ ํ ๊ธ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ํ ์๊ธฐ์ฅ ์๊ณก, ํน์ ์ ์๊ธฐ์ ์ก์โ์ ๋ํด์๋ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์คํ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ๋ ผ๋ฌธ์์๋ ๋ก๋ด ์๊ฐ๋ฝ์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋/ํ๋ผ์คํฑ ๊ตฌ์กฐ์์ ๋ฌธ์ ์์ด ์๋ํ์ง๋ง, ๋ง์ฝ ์ผ์ ์ฃผ๋ณ์ ๊ฐ์์ฑ์ฒด ๋ถํ์ด ์๋ค๋ฉด ์์์ ํ๋๊ฐ ๊ทธ์ชฝ์ผ๋ก ๋ฌ๋ผ๋ถ์ด ์๊ณก๋๊ฑฐ๋ ๊ฐ๋๊ฐ ์ ํ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ผ์ ์ฃผ์ ์ฌ์ง ์ ํ๊ณผ ์ค์น ์์น ๋ฑ๋ ์ ์คํ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๋ง์ง๋ง์ผ๋ก, ์ค์ฉํ ๊ด์ ์์์ ๊ฒฝ์ ์ฑ๋ ์ง์ด๋ณผ ์ ์ ๋๋ค. ์ด ๋ ผ๋ฌธ์ ๊ธฐ์ (Melexis) ์ฃผ๋๋ก ์ํ๋์ด ๋น๊ต์ ํ์ค์ ๊ฐ์ํ ๋ด์ฉ์ด์ง๋ง, ์์ง์ ์ฐ๊ตฌ ํ๋กํ ํ์ ๋จ๊ณ๋ก ์๋ ์ ์๋์์ต๋๋ค. ๋๋ ์์ฐ ์ ๋จ๊ฐ์ ์ ๋ขฐ์ฑ, ์์จ ๋ฑ์ด ์ค์ํ ํ ๋ฐ, ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์ผ์๋ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ค์ ๋ณต์กํ์ฌ ๋จ์ผ ์ผ์ ๋๋น ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ด ๋์ด๋ ์ ์์ต๋๋ค. ํ์ง๋ง ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ๊ธฐ์ ๊ณผ ์ผ์ ๋ณด์ ๊ธฐ๋ฒ์ด ๊พธ์คํ ๋ฐ์ ํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ ์ถฉ๋ถํ ํด๊ฒฐ ๊ฐ๋ฅํด ๋ณด์ ๋๋ค. ํนํ ๋ฉํ๋ฃฉ์์ค(Melexis) ๋ฑ์์ ์ด๋ฏธ stray-field immune ์์น ์ผ์ ๋ฑ์ ์์ฐํ ๊ฒฝํ์ด ์๋ค๋ ์ ์ ๊ฐ์ํ๋ฉด, ๋ณธ ์ด๊ฐ ์ผ์๋ ์กฐ๋ง๊ฐ ์์ฉ ๋ก๋ด์ ํ์ฌ๋ ์์ค์ผ๋ก ๊ฐ์ ๋ ์ ์์ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก, โ๊ทธ๋๋์ค๋ฉํธ๋ฆญ ์๊ธฐ ํ ์ผ์โ ์ฐ๊ตฌ๋ ๋ก๋ด ์ด๊ฐ ์ผ์ฑ ๋ถ์ผ์์ ํ์ ์ ๋ ์ฐฝ์ฑ๊ณผ ์์ฉ์ ์ ์ฉ์ฑ์ ๊ณ ๋ฃจ ๊ฐ์ถ ์ฑ๊ณผ๋ก ํ๊ฐ๋ฉ๋๋ค. ๋ค์ค ์๊ธฐ ํฝ์ ์ ํ์ฉํ ์ฐจ๋ ์ธก์ ๊ฐ๋ ์ ํฅํ ๋ค๋ฅธ ์ผ์ ๋ถ์ผ(์: ์ ๋ฅ ์ผ์ฑ, ์ง์๊ธฐ ๊ณ์ธก ๋ฑ)์๋ ์์ฉ๋ ์ ์ฌ์ฑ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก, ๋ณด๋ค ๊ฒฌ๊ณ ํ๊ณ ์ ๊ตํ ๋ก๋ด ์ด๊ฐ ์ผ์๋ค์ด ์คํ๋์ด ๋ก๋ด์ด ์ธ๊ฐ์ฒ๋ผ ์ฌ์ธํ ์ด๊ฐ์ ๊ฐ์ถ๋ ๋ ์ด ์๋น๊ฒจ์ง๊ธธ ๊ธฐ๋ํฉ๋๋ค.